Measurement Technology for Micro-Nanometer Devices
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Measurement Technology for Micro-Nanometer Devices

Wendong Zhang
John Wiley & Sons
 E-Book
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ISBN-13:
9781118717981
Veröffentl:
2016
Einband:
E-Book
Seiten:
344
Autor:
Wendong Zhang
eBook Typ:
PDF
eBook Format:
Reflowable E-Book
Kopierschutz:
Adobe DRM [Hard-DRM]
Sprache:
Englisch
Systemvoraussetzungen
Beschreibung:

A fully comprehensive examination of state-of-the-art technologies for measurement at the small scale Highlights the advanced research work from industry and academia in micro-nano devices test technology Written at both introductory and advanced levels, provides the fundamentals and theories Focuses on the measurement techniques for characterizing MEMS/NEMS devices
A fully comprehensive examination of state-of-the-art technologies for measurement at the small scale* Highlights the advanced research work from industry and academia in micro-nano devices test technology* Written at both introductory and advanced levels, provides the fundamentals and theories* Focuses on the measurement techniques for characterizing MEMS/NEMS devices

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